Die Höhenauflösung ist ein Wert aus dem Bereich der Topographiemessung. Angegeben wird die Höhenauflösung in Mikrometer (µm). Die Funktionsweise ist immer die gleiche und ähnelt der klassischen Höhenmessung von topografischen Gegebenheiten im Gelände oder von Gebäuden.

Die Höhenauflösung wird dabei mit Hilfe von berührungslos arbeitenden, optischen Messtastern berechnet. Kernstück sind dabei in der Regel Abstandssensoren, die Weisslicht auf das Messobjekt fokussieren. Durch die spektrale Verteilung des gestreuten Lichts an der Oberfläche wird die Höhe des Messobjektes bestimmt. Für die unterschiedlichen Anwendungsbereiche der Messung der Höhenauflösung, gibt es auch unterschiedliche Messköpfe. Möglich ist auch eine Messung der Höhenauflösung im Nanometerbereich.